REGAL JOINT 流量计FS-SC经典应用案例
点击次数：60 更新时间：2025-12-30
REGAL JOINT 流量计FS-SC经典应用案例
REGAL JOINT FS‑SC 是紧凑型叶轮式流量计，核心用于半导体、液晶、光伏、制药等高精度流体系统的纯水 / 药液 / 冷却水流量监测，支持模拟 + 报警输出，适配歧管集成安装，以下是 5 个经典应用案例：
场景痛点：单片式清洗机的 8 路喷淋臂纯水流量需独立监测，要求无金属溶出、低脉动、响应快，避免流量异常导致晶圆划痕。
解决方案：FS‑3SC（0.5–3 L/min）接液部为氟树脂 + 陶瓷，无金属离子溶出；LCD 数字显示 + 三色 LED 报警，4–20mA 模拟输出接入 PLC，歧管集成4台*2套（如下图），流量计节省空间。
实施效果：流量控制精度 ±2%，报警响应≤1s，晶圆良率提升 2.5%，维护时插拔式安装缩短停机时间至 30min 内。
场景痛点：显影液（25℃）循环流量需稳定在 3–8 L/min，管路紧凑，需防腐蚀、低泄漏，避免流量波动导致线宽不均。
解决方案：FS‑10SC（1.5–10 L/min）适配 Rc1/4 接口，氟树脂密封抗化学腐蚀，与 Kantouch 接头配套防泄漏；设定流量阈值，黄灯报警联动泵组稳压。
实施效果：流量波动控制在 ±0.5 L/min 内，显影均匀性提升 4%，年泄漏故障减少 90%。
场景痛点：蚀刻槽 3 路循环药液（50℃）流量 5–25 L/min，需高温耐受、抗 HF 腐蚀，且能与歧管集成实现集中监控。
解决方案：FS‑30SC（5–30 L/min）耐温 0–60℃，接液部氟树脂 + 陶瓷抗腐蚀；接入 DCS 系统，实时记录流量曲线，异常时自动切换备用泵。
实施效果：流量测量误差＜±1.5%，蚀刻速率稳定性提升 3%，集中监控减少巡检人力 60%。
场景痛点：冻干机液压系统冷却水路流量需≥8 L/min，防止油温超 60℃导致密封老化；要求抗震、低维护，适配中压工况（1.6 MPa）。
解决方案：FS‑30SC 量程覆盖 5–30 L/min，金属外壳抗震，“0" 位残压排出保护传感器；与 ASK SVPG 切换阀联动，定期巡检冷却回路压力与流量。
实施效果：油温稳定在 45±2℃，液压密封寿命延长至 2 年，设备 OEE 提升 8%。
场景痛点：浆料（黏度 500 mPa・s）循环流量 0.8–2.5 L/min，需耐溶剂、无颗粒脱落，避免流量异常导致涂布厚度不均。
解决方案：FS‑3SC（PTFE 本体）耐有机溶剂，叶轮间隙优化适配中黏度流体；模拟输出接入涂布机伺服系统，闭环调节流量与涂布速度同步。
实施效果：涂布厚度公差控制在 ±5μm，批次合格率提升 3%，无因流量计污染导致的浆料报废。
这些案例验证 FS‑SC 在高精度流体监测、抗腐蚀、集成安装上的优势，适配精密制造与化工流体的稳定控制需求。
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