昆山瑞腾精密自动化有限公司

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产品名称:雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm

产品型号:HPT-63mm

产品报价:

产品特点:雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm ,接液全氟部件(无任何金属接触介质)。感压波纹管:PFA(全氟烷氧基).选型优势:可熔融一体成型、低析出、耐温 260℃、抗蠕变不变形、高纯制程标配;相比 FEP 耐温更高、比 PTFE 气密性更好,氦检漏零泄漏,适合长期承压高纯回路。过程基座 / 接头主体:PTFE耐强酸碱,适配蚀刻液、强氧化剂,和 PFA 波纹管热封结合无渗漏。

HPT-63mm雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm的详细资料:

雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm

HPT-63 mm 超高纯压力表

Ashcroft® HPT Teflon 63mm 超高纯压力表为半导体和电子制造行业的超高纯度化学品输送系统,提供性能优良和可靠性。经过氮气泄漏测试以确保产品的质量,其紧凑的设计适合有限空间的安装。

主要特征:

Teflon™ 接液部件

洁净室清洗

100%氦气泄漏测试

洁净室包装

行业应用:

高纯度气体输送系统

化学品输送系统

超纯水应用

半导体

制药行业

雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm

规格详述:

精度:

±1.5% 满量程 (量程 90 psi 和更高)

±2% 满量程 (量程低于90 psi)

量程:真空至 145 psi

过程连接位置:

中心背部

径向

波纹管材料:PFA全氟烷氧基

尺寸:63 mm

过程连接尺寸:

G 3/8

R 3/8

短管:

¼", 3/8", ½", 6 mm, & 8mm

外壳材质:聚丙烯(PP)

表玻璃:PET

雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm

一、产品定位

HPT 是雅斯科半导体 / 制药 / 超纯水专用全氟氟塑料高纯压力表,表盘 63mm,核心感压波纹管采用 PFA、接头基座 PTFE,全程无金属接触介质,杜绝金属离子析出,适配强腐蚀高纯药液、超纯水、高纯特种气体,替代不锈钢压力表解决腐蚀、污染晶圆 / 药液痛点雅斯科 ASHCROFT

二、核心材质(PFA+PTFE 接液,对应你之前问的三种氟塑)

接液全氟部件(无任何金属接触介质)

  1. 感压波纹管:PFA(全氟烷氧基)

    选型优势:可熔融一体成型、低析出、耐温 260℃、抗蠕变不变形、高纯制程标配;相比 FEP 耐温更高、比 PTFE 气密性更好,氦检漏零泄漏,适合长期承压高纯回路。

  2. 过程基座 / 接头主体:PTFE

    耐强酸碱,适配蚀刻液、强氧化剂,和 PFA 波纹管热封结合无渗漏死角。

非接液外部

  • 表壳:PP 聚丙烯(耐弱酸、轻量化、抗腐蚀)

  • 表窗:PET 透明面板

  • 内部传动机芯:非金属隔离,介质不接触金属齿轮

三、关键洁净 & 密封工艺(半导体行业硬性标准)

  1. 万级 Class10000 洁净室超声波清洗,去除颗粒物、金属杂质

  2. 100% 整机氦气分子检漏,杜绝微量渗漏污染高纯管路

  3. 氮气吹扫干燥,双层聚乙烯真空密封无尘包装,开箱直接上机,无需二次清洗

  4. 通过 RoHS 环保认证,无重金属溶出风险雅斯科 ASHCROFT

雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm

四、完整技术参数

1. 尺寸与精度

  • 表盘直径:63mm

  • 精度等级:

    • 量程≥90psi(6bar):±1.5% FS

    • 量程<90psi(6bar):±2.0% FS

  • 压力类型:表压、真空、真空 + 压力复合量程

  • 总量程覆盖:-1bar 真空~10bar(145psi)

2. 过程连接规格(两种安装方向)

安装方位:径向下出 / 背部中心后出可选接口:
  • 螺纹:G3/8、R3/8

  • 插管直插短管:1/4"、3/8"、1/2"、6mm、8mm(适配 PFA 软管直插,无转接死角)

3. 使用环境

  • 介质温度:-20~120℃(PFA 波纹管长期稳定区间)

  • 环境温度:-18~60℃

  • 防护:开放式前盖,洁净车间室内使用

4. 重量:约 190g,紧凑型设计,适配机台狭小阀箱、化学输送柜

五、PFA 材质核心优势(为什么不用 PTFE/FEP)

  1. 对比 PTFE:PTFE 无法熔融焊接,波纹管易有微小孔隙、析出风险高;PFA 一体热压波纹管气密性、洁净度远超 PTFE,满足芯片湿法蚀刻超高纯要求。

  2. 对比 FEP:FEP 长期使用上限仅 200℃,抗蠕变差,高压下波纹管易变形漂移;PFA 长期 260℃稳定,承压测量长期零点不偏移。

  3. 全氟结构耐所有强酸、强碱、有机溶剂、显影液、超纯水,不锈钢会被快速腐蚀场景较佳的选择。

六、典型应用场景

  1. 半导体晶圆制造:湿法蚀刻、清洗槽、化学品输送柜、高纯去离子水 DIW 管路

  2. 制药生物:高纯药液、缓冲液、无菌纯化水输送

  3. 精细化工:强腐蚀高纯试剂、电镀高纯药水回路

  4. 光伏 / 面板:刻蚀高纯酸碱管路压力监测

七、型号选型示例与区分

订货型号示例

HPT-63-0~6bar-G3/8-BACK-PFA
  • HPT:系列;63:表盘 63mm;0~6bar:量程;G3/8:螺纹;BACK:背部中心安装;PFA:标准波纹管材质

同系列区分要点

  • HPT = 经济型高纯氟塑压力表(PFA 波纹管)

  • HPX = 微型袖珍高纯表;HPS = 带报警开关高纯表

  • 普通工业不锈钢压力表:严禁用于高纯腐蚀药液,金属离子会报废晶圆 / 药品

八、安装使用注意事项

  1. 介质禁止超过 120℃长期运行,高温会加速 PFA 老化、零点漂移

  2. 避免剧烈压力冲击,前端建议加装 PFA 缓冲稳压接头

  3. 管路全程配套 PFA/PTFE 阀门、软管,杜绝不锈钢、黄铜接头交叉污染

  4. 开箱后一次性使用,拆封后无法二次无尘密封,闲置易吸附粉尘污染系统

雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm

关键词:雅斯科压力表 ASHCROFT压力表  PFA压力表

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