HPT-63mm雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm的详细资料:
雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm
HPT-63 mm 超高纯压力表
Ashcroft® HPT Teflon 63mm 超高纯压力表为半导体和电子制造行业的超高纯度化学品输送系统,提供性能优良和可靠性。经过氮气泄漏测试以确保产品的质量,其紧凑的设计适合有限空间的安装。
主要特征:
Teflon™ 接液部件
洁净室清洗
100%氦气泄漏测试
洁净室包装
行业应用:
高纯度气体输送系统
化学品输送系统
超纯水应用
半导体
制药行业
雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm
规格详述:
精度:
±1.5% 满量程 (量程 90 psi 和更高)
±2% 满量程 (量程低于90 psi)
量程:真空至 145 psi
过程连接位置:
中心背部
径向
波纹管材料:PFA全氟烷氧基
尺寸:63 mm
过程连接尺寸:
G 3/8
R 3/8
短管:
¼", 3/8", ½", 6 mm, & 8mm
外壳材质:聚丙烯(PP)
表玻璃:PET
雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm
一、产品定位
二、核心材质(PFA+PTFE 接液,对应你之前问的三种氟塑)
接液全氟部件(无任何金属接触介质)
感压波纹管:PFA(全氟烷氧基)
选型优势:可熔融一体成型、低析出、耐温 260℃、抗蠕变不变形、高纯制程标配;相比 FEP 耐温更高、比 PTFE 气密性更好,氦检漏零泄漏,适合长期承压高纯回路。
过程基座 / 接头主体:PTFE
耐强酸碱,适配蚀刻液、强氧化剂,和 PFA 波纹管热封结合无渗漏死角。
非接液外部
表壳:PP 聚丙烯(耐弱酸、轻量化、抗腐蚀)
表窗:PET 透明面板
内部传动机芯:非金属隔离,介质不接触金属齿轮
三、关键洁净 & 密封工艺(半导体行业硬性标准)
万级 Class10000 洁净室超声波清洗,去除颗粒物、金属杂质
100% 整机氦气分子检漏,杜绝微量渗漏污染高纯管路
氮气吹扫干燥,双层聚乙烯真空密封无尘包装,开箱直接上机,无需二次清洗
通过 RoHS 环保认证,无重金属溶出风险雅斯科 ASHCROFT
雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm
四、完整技术参数
1. 尺寸与精度
表盘直径:63mm
精度等级:
量程≥90psi(6bar):±1.5% FS
量程<90psi(6bar):±2.0% FS
压力类型:表压、真空、真空 + 压力复合量程
总量程覆盖:-1bar 真空~10bar(145psi)
2. 过程连接规格(两种安装方向)
螺纹:G3/8、R3/8
插管直插短管:1/4"、3/8"、1/2"、6mm、8mm(适配 PFA 软管直插,无转接死角)
3. 使用环境
介质温度:-20~120℃(PFA 波纹管长期稳定区间)
环境温度:-18~60℃
防护:开放式前盖,洁净车间室内使用
4. 重量:约 190g,紧凑型设计,适配机台狭小阀箱、化学输送柜
五、PFA 材质核心优势(为什么不用 PTFE/FEP)
对比 PTFE:PTFE 无法熔融焊接,波纹管易有微小孔隙、析出风险高;PFA 一体热压波纹管气密性、洁净度远超 PTFE,满足芯片湿法蚀刻超高纯要求。
对比 FEP:FEP 长期使用上限仅 200℃,抗蠕变差,高压下波纹管易变形漂移;PFA 长期 260℃稳定,承压测量长期零点不偏移。
全氟结构耐所有强酸、强碱、有机溶剂、显影液、超纯水,不锈钢会被快速腐蚀场景较佳的选择。
六、典型应用场景
半导体晶圆制造:湿法蚀刻、清洗槽、化学品输送柜、高纯去离子水 DIW 管路
制药生物:高纯药液、缓冲液、无菌纯化水输送
精细化工:强腐蚀高纯试剂、电镀高纯药水回路
光伏 / 面板:刻蚀高纯酸碱管路压力监测
七、型号选型示例与区分
订货型号示例
HPT-63-0~6bar-G3/8-BACK-PFAHPT:系列;63:表盘 63mm;0~6bar:量程;G3/8:螺纹;BACK:背部中心安装;PFA:标准波纹管材质
同系列区分要点
HPT = 经济型高纯氟塑压力表(PFA 波纹管)
HPX = 微型袖珍高纯表;HPS = 带报警开关高纯表
普通工业不锈钢压力表:严禁用于高纯腐蚀药液,金属离子会报废晶圆 / 药品
八、安装使用注意事项
介质禁止超过 120℃长期运行,高温会加速 PFA 老化、零点漂移
避免剧烈压力冲击,前端建议加装 PFA 缓冲稳压接头
管路全程配套 PFA/PTFE 阀门、软管,杜绝不锈钢、黄铜接头交叉污染
开箱后一次性使用,拆封后无法二次无尘密封,闲置易吸附粉尘污染系统
雅斯科ASHCROFT超高纯PFA压力表HPT_63mm
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